SEMI F57認(rèn)證

什么是SEMI F57認(rèn)證？

SEMI F57 是半導(dǎo)體行業(yè)聚合物材料及其組件系統(tǒng)，從材料選擇、生產(chǎn)過程、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方方面面進(jìn)行規(guī)范和建議的文件，主要用于超純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)或者組件的評(píng)價(jià)。

咨詢電話:13816144967(微信同號(hào))

為什么要做SEMI F57認(rèn)證？

半導(dǎo)體先進(jìn)制程要求工藝使用的超純水，超純化學(xué)品的純度越來越高，污染物水平越來越低，用于超純水，超純化學(xué)品運(yùn)輸和儲(chǔ)藏的系統(tǒng)和部件不能帶入污染。雖然在超純水與化學(xué)品的質(zhì)量都有相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范，大部分都是末端標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)其各個(gè)組件的制造商來說，是無法直接應(yīng)用的。目前在SEMI系列規(guī)范中，SEMI F57是直接從材料選擇、生產(chǎn)過程、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方面進(jìn)行規(guī)范和建議的文件，讓超純水和濕化學(xué)品輸送系統(tǒng)材料的適用性評(píng)估有所參考依據(jù)。

SEMI F57可以測(cè)試的產(chǎn)品品類：

需要進(jìn)行純度測(cè)試的材料和部件

SEMI F57 測(cè)試需要測(cè)試產(chǎn)品的4類參數(shù)：

SEMI F57測(cè)試參數(shù)類型

測(cè)試陰離子，金屬離子，和總有機(jī)碳的液體提取方法如下（根據(jù)SEMI F40）：

測(cè)試陰離子，金屬離子，和總有機(jī)碳的液體提取方法如下（根據(jù)SEMI F40）：

1、認(rèn)證的浸泡液僅是超純水，摸底測(cè)試出測(cè)試報(bào)告，其能力如下：

2、制樣要求

1）接觸液體體積大于200mL

2）直徑要求：≤20mm

3）長度要求：根據(jù)直徑調(diào)整，使得內(nèi)壁接觸液體體積V≥200mL

計(jì)算公式：長度L=V（體積）/(πD)

3、表面粗糙度取樣要求

1）用和產(chǎn)品相同制樣方法制取平整樣品，不能有翹曲；

2）樣品尺寸：最小 3x3mm，測(cè)中心以及邊緣兩個(gè)點(diǎn)咨詢電話:13816144967(微信同號(hào))